MF520은 비교시료(Ref)와 테스트 제품(Work)을 층류관으로 연결하여 측정된 유량값을 실제 테스트 제품을 통해 대기 중으로 빠져나가는 유량값으로 변환하여 표시한다. 테스트 제품(Work)에 누설이 있으면 비교시료(Ref)와 테스트 제품(Work) 사이 연결된 층류관 양단에 압력 차이가 발생하므로, 이를 차압센서가 측정하여 유량값으로 표현하는 방식이다.
(※통상 Ref.vol은 Work vol 대비 가능한 큰 체적을 설치하는 것이 바람직하다.)