 
                                | 측정방식 | 차압mass flow방식 | 
| 치수 | 250(폭) x 140(높이) x 370(깊이) mm | 
| 무게 | 7 Kg | 
| 전원 | 100V / 240V AC free Voltage | 
| 작동온도 | 10 ~ 45℃ | 
| 보관온도 | 0 ~ 60℃ | 
| 범위 | 정도 | 분해능 | 
|---|---|---|
| Vac. | reading값의 ±1.5%+3 hpa | full scale의 0.1% | 
| 20 Kpa 이하 | reading값의 ±1.5%+1 hpa | |
| ~100 Kpa | reading값의 ±1.5%+3 hpa | |
| ~400 Kpa | reading값의 ±1.5%+7.5 hpa | |
| ~900 Kpa | reading값의 ±1.5%+15 hpa | 
| 범위 | 정도 | 분해능 | 
|---|---|---|
| 2 sccm | reading값의 ±2.5%+0.002 sccm | 0.001 sccm | 
| 20 sccm | reading값의 ±2.5%+0.02 sccm | 0.001 sccm | 
| 200 sccm | reading값의 ±2.5%+0.2 sccm | 0.1 sccm | 
| 납기일 | : 4 ~ 6주 | 
| A/S 소요기간 | : 2일 ~ 3주 이내 | 
| 추가문의처 | :  TEL. 02-2617-5182 / FAX. 02-2617-5183 / E-Mail. tech@ateqkorea.com |